氧化銦錫 (Indium Tin Oxide, ITO) 是一種透明導電氧化物 (Transparent Conducting Oxide, TCO),由氧化銦 (In₂O₃) 中摻雜約 5~10 wt% 的氧化錫 (SnO₂) 組成。透過這樣的摻雜,可在維持高透明度的同時,賦予材料優異的導電性能。
ITO 薄膜的主要特性:
• 低電阻率:典型電阻率可達 10⁻⁴ ~ 10⁻⁵ Ω·cm,適合應用於導電層。
• 高透光性:在可見光範圍的穿透率可達 90% 以上,幾乎不影響光學清晰度。
• 可蝕刻性:能以酸性蝕刻技術進行圖案化製程,方便製作電極圖形。
• 化學穩定性:具抗腐蝕性,能在多種環境下維持穩定性能。
• 耐候性佳:能長時間承受濕度、溫度與光照等環境考驗。
應用範圍
- 電子與光學元件:如觸控面板、液晶顯示器 (LCD)、有機發光二極體 (OLED) 等,作為透明電極使用。
- 光電裝置:包括太陽能電池、光檢測器與發光元件。
- 功能性薄膜:應用於透明加熱元件、防霧鏡片、抗靜電薄膜,以及電磁波屏蔽。
- 新興應用:智慧調光玻璃、智慧建築窗戶、車用除霧玻璃等,進一步拓展了 ITO 的應用場景。
ITO 兼具高導電性與高透明性,是最成熟且被廣泛應用的透明導電材料之一。隨著智慧建築、可穿戴裝置以及新型能源的發展,ITO 導電玻璃仍將是不可或缺的核心材料。
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